產品詳情
星納微(天津)精密科技有限公司成立于天津，公司致力于精密儀器設備制造，注重科技創新。作為國內領先的的3D量測設備及高精度的氣浮平臺供應商，我們為各行業的用戶提供完善的系統解決方案。公司的產品包括：控制軟件、驅動器、運動平臺，納米級定位平臺，精密氣浮平臺，3D自動量測機，3D輪廓儀，激光掃描振鏡等一系列精密儀器設備及解決方案。公司的產品及方案廣泛地應用于各個行業：醫療器械、生命科學、半導體和集成電路、激光加工、光電、自動化、數據存儲、航天航空、電子制造和測試、高校科研等有高精度高穩定性要求的眾多行業。
產品概述：
性能指標：
對產品進行三維形貌測量，集合了相位差干涉，白光干涉，共聚焦，多焦面疊加的四合一的技術，可以做面型測量，共面度檢測，研磨后的粗糙度檢測，顆粒度檢測，結構測量，孔深孔徑，真圓度，膜厚測量，RDL線路量測，鐳切槽檢測，線寬，線距，去干膜前銅厚，SOLDER MASK開口尺寸，銅面粗糙度等眾多三維量測項目。
3D自動量測機主要是對晶圓、PCB板等產品進行的三維形貌測量。設備可高精度、快速、自動化進行PCB產品表面3D形貌測量。
1).高精度（0.1nm高度分辨率）
2).超快速（2S/FOV）
3).多功能（共聚焦/干涉/多焦面）
4).多點編程量測
5).自動化（自動掃描、自動數據統計、自動數據上傳）
6).條碼讀取調用模板
7).CCD影像定位（漲縮、擺放偏移校正）
8).SECS/GEM
