產品詳情
產品概述:
高精度氣浮平臺是一種利用空氣軸承技術實現無摩擦、高精度運動的設備。它通過壓縮空氣在平臺與底座之間形成一層極薄的氣膜,使平臺能夠以極低的摩擦力和高穩定性進行移動。這種平臺廣泛應用于精密制造、光學檢測、半導體加工、納米技術等領域,諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。
特點:
直線度、重復性和定位精度極高。
速度快、同步性高。
高度定制化(不同的承載、不同的行程、不同的精度要求、不同的電氣控制和不同的使用環境)
典型應用場景:
1).光刻機:用于半導體制造中的高精度對準和曝光。
2).光學檢測設備:用于鏡頭、棱鏡等光學元件的精密檢測。
3).納米壓印設備:用于納米級圖案的復制和加工。
4).精密測量儀器:如三坐標測量機、激光干涉儀等。